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薄膜厚度測量的光學模塊可容納所有光學部件：分光計、復合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此，在準確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

硅片厚度測量儀采用的是近紅外光(NIR)來測量膜層厚度，因此可以測試一些肉眼看是不透明的膜層( 比如半導體膜層) 。